GB／T 51453-2024 薄膜陶瓷基板工厂设计标准

《薄膜陶瓷基板工厂设计标准》GB/T 51453-2024 是针对薄膜陶瓷基板工厂工程建设的设计规范，涵盖了新建、扩建和改建的工程设计。该标准包含了一系列技术要求，旨在确保技术先进、安全适用、经济合理以及环保节能。

标准的主要内容包括：

• 总则：规定了设计内容、设计深度和厂房设施的基本要求 。

• 术语：定义了薄膜、薄膜陶瓷基板、蒸发、溅射、光刻、刻蚀、激光调阻等术语 。

• 总体设计：包括厂址选择、总图规划及布局等要求 。

• 工艺设计：涉及工艺流程设计、工艺区划、基本工艺等内容 。

• 工艺设备配置：规定了基板准备、镀膜、光刻、电镀、刻蚀、激光调阻、激光打孔、划片和测试等工艺设备的配置要求 。

• 建筑与结构：包括建筑设计、结构设计等要求 。

• 公用设施：涉及空气调节和净化系统、给水排水、气体动力等 。

• 电气设计：包括供电系统、照明、配电和自动控制、通信、信息等 。

此外，标准还附有术语解释和基本工艺流程的附录，以便于理解和应用。

该标准由住房城乡建设部负责管理，主编单位包括工业和信息化部电子工业标准化研究院及中国电子科技集团公司第五十五研究所等。标准自2024年8月1日起实施 。

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